極薄・極厚/特殊加工ウェハー
・アズスライス品(御指定の厚みにて)
・極薄仕上げ(150μm)
・極薄仕上げ(150μm)
エッチングによる深堀加工を行うセンサー・MEMS用途として、正確な溝作製が可能な高精度ウェーハをご提供致します。
面方位(切断角度)公差をより小さく、OF位置角度公差をより小さく厚み公差をより小さく、平坦性をより高精度に2インチ〜12インチまでの片面ミラーウェーハ、酸化膜付きウェーハなど、高品質のウェーハをご提供いたします。
お客様のご要望に合わせ、角形状ウェーハ、OF(オリエンテーションフラット)ノッチ付(丸)ウェーハ。
両面ミラー、両面エッチ、両面ラップなどの仕上げが可能です。
ウェーハ厚みは、100μm(4インチ)〜2,000μmの製造が可能です。
CZ・FZ結晶小口径タイプ~12inch
面方位(切断角度)公差をより小さく、OF位置角度公差をより小さく厚み公差をより小さく、平坦性をより高精度に2インチ〜12インチまでの片面ミラーウェーハ、酸化膜付きウェーハなど、高品質のウェーハをご提供いたします。
お客様のご要望に合わせ、角形状ウェーハ、OF(オリエンテーションフラット)ノッチ付(丸)ウェーハ。
両面ミラー、両面エッチ、両面ラップなどの仕上げが可能です。
ウェーハ厚みは、100μm(4インチ)〜2,000μmの製造が可能です。
CZ・FZ結晶小口径タイプ~12inch
シリコンウェハー裏面研磨加工(バックグラインド)
材質 | Siシリコンウェハー |
仕様 | 3インチ~8インチ(12インチ仕様によっては要相談) |
特色 | CMP装置によるバックグラインド・ポリッシュ一貫加工 12インチウェハーを50μm以下の厚みまで研磨可能 3インチ以下や不定形のウェハーも対応可能 |
金属膜、酸化膜、蒸着加工
材質 | GaAsウェハー、シリコンウェハー |
仕様 | 3,4,6及び8インチGaAsウェハー |
蒸着膜 | Au、Pt、Ti等各種金属膜 対応サイズは8インチまで シリコンウェハー |
品質 | 最先端検査装置による品質保証 膜厚測定装置 |
特色 | 研磨との一貫加工で効率的な処理が可能 お客様のレシピに柔軟に対応 |
シリコンモニターダミーウェハー加工
材質 | シリコンウェハー |
仕様 | 4、5、6、8、12インチウェハー パーティクルは0.09ミクロンで80個以下 重金属レベルは、109 atom/cm2 をクリアー |
特色 | ダミー、テストウェハー再生加工、販売 真空包装(パーティクル保証)品、 研磨済み、発泡ケース入りもご用意してあります。 |